線長5.9mm，量程3mm，Z軸重復性0.1μm
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線長5.9mm，量程2.4mm，Z軸重復性0.2μm
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重復性0.4μm 2σ，最小可測刀具直徑Φ20μm，最高對刀專屬（主軸轉速）200,000rpm
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線長13mm，量程6mm，Z軸重復性0.15μm
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重復性0.3μm 2σ，最小可測刀具直徑Φ20μm，最高對刀轉速（主軸轉速）200,000rpm
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160*60，0.25~8m，FOV:76*32deg
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Φ94mm，9.09±1.2mm，±62°
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線長4.3mm，量程0.7mm，Z軸重復性0.04μm
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2路PNP/NPN光耦隔離輸出，2000Hz開關頻率
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粵公網安備44030602003691號