先進智造下，智能傳感器產業發展--廣東

導讀：廣東制造業在“十三五”期間取得長足進步。省工信廳黨組成員、副廳長吳東文介紹，2020年廣東規模以上工業增加值達3.31萬億元，規上工業企業達5.4萬家，新一代電子信息、綠色石化、家電等萬億產業集群在全國占據重要位置，制造強省建設取得積極成效。“十四五”期間，廣東將圍繞打造新發展格局戰略支點，建設全球先進制造業基地和產業創新高地，鞏固工業在經濟體系中的支柱地位，制造業占GDP比重保持在30%的水平。

       近年來，廣東省出臺了一系列政策支持發展先進、智能傳感器，目前主要以廣州、深圳中心城市為主并形成了一定的產業規模。

       2020年9月，廣東省智能傳感器產業園正式啟動，明確廣東省智能傳感器產業園以廣州開發區為試點，推動智能傳感器技術創新，促進智能傳感器產業集群發展。

       2021年8月，廣東省政府正式發布《廣東省制造業高質量發展“十四五”規劃》(以下簡稱《規劃》)。梳理《規劃》內容不難發現，對于智能傳感器產業的布局，廣深兩市被寄予厚望。

       另外，《規劃》指出，在芯片設計方面，廣州重點發展智能傳感器、射頻濾波器、第三代半導體，建設綜合性集成電路產業聚集區；芯片制造方面，廣州以硅基特色工藝晶圓代工線為核心，布局建設12英寸集成電路制造生產線，深圳定位28納米及以下先進制造工藝和射頻、功率、傳感器、顯示驅動等高端特色工藝，推動現有芯片制造生產線產能和技術水平提升；在封測方面，廣州發展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統級測試技術等。

       產業集聚和規模根據前瞻產業研究院梳理，截至2021年9月，廣東省企業中，企業名稱或者經營范圍內含有“智能傳感器”的大中小企業共79212家。按注冊資本劃分，注冊資本在100萬以下的企業有21238家，100-500萬的有31787家，500-1000萬的有12536家，1000萬以上的有13542家，占比分別為26.85%、40.18%、15.85%以及17.12%。

廣東省智能傳感器產業園

       2020年9月，廣東省、廣州市、廣州開發區三級聯動啟動共建廣東智能傳感器產業園，這是廣東省內首個傳感器產業園。以廣州開發區為試點，力爭5年內建成立足粵港澳大灣區輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產業集聚區。

       廣東智能傳感器產業園位于廣州人工智能與數字經濟試驗區（魚珠片區）北側，總占地面積約10.79萬㎡，建筑面積49.8萬㎡，總投資26.8億元。

       成立一年后，廣東智能傳感器產業園已拔地而起，首批功能性建筑“粵港澳大灣區智能傳感器產業園運營中心”已于今年6月28日投入使用。2021年11月廣東智能傳感器產業園一期項目主體結構封頂，進入快速推進階段。

       另外，2021年11月2日，第24屆中國集成電路制造年會上，由興橙資本作為發起人組建的灣區智能傳感器產業集團舉行成立儀式。集團計劃注冊資本100億元，在海外購買IMEC技術授權，將上海乃至全球的先進傳感器技術在大灣區應用推廣。集團將快速打造核心產業平臺，建設對標世界先進水平的12英寸MEMS傳感器量產線、12英寸晶圓級MEMS傳感器封裝和SIP系統級傳感器封測量產線，在增城南香山打造千畝空間的產業園。

       產業生態建設 目前，廣東省智能傳感器產業發展中，涌現出多個代表性機構和骨干企業，涵蓋研究開發、材料元件、設計制造、應用終端等、逐漸形成“主體集中、區域集聚、技術先進、應用繁榮”的產業鏈圈。

       其中，根據官方數據，廣州開發區內擁有金發科技等傳感器基礎材料企業超10家，擁有國家納米科學中心納米智能傳感器項目及其量產的6寸壓電IDM晶圓產線、南方電網總部及其數字電網研究院、廣東省目前唯一量產的12英寸芯片虛擬IDM項目粵芯半導體、全球CTP行業龍頭企業愛司凱、國內領先的MEMSIDM傳感器公司奧松電子等傳感器設計制造和封裝測試企業15家，以及傳感器應用終端企業70家以上，如專注于機器視覺精密測量和工業自動化技術的研發創新企業海伯森技術等。

主要研發機構

（以下是不完全名單）

中國科學院深圳先進技術研究院

       根據中央建設創新型國家的總體戰略目標和國家中長期科技發展規劃綱要，結合中國科學院科技布局調整的要求，圍繞深圳市實施創新型城市戰略，2006年2月，中國科學院、深圳市人民政府及香港中文大學友好協商，在深圳市共同建立中國科學院深圳先進技術研究院（以下簡稱“深圳先進院”），實行理事會管理，探索體制機制創新。

深圳清華大學研究院

       重點研究方向：力敏傳感器、生物傳感器、紅外傳感器、微納傳感器等

       由深圳市政府和清華大學聯合建立，是一個高層次、綜合性、開放式的產學研實體，我國華南地區科技創新的很重要基地。清華研究院平均每年申報專利100項，超過15項成果實現產業化，直接由技術創新產生的價值超過10億元。

營商環境

       優化營商環境是激發市場主體活力的關鍵，廣東近年來持續推進營商環境改革，進一步瞄準最高標準、最高水平開展先行先試，在打造市場化法治化國際化營商環境上形成了可復制可推廣的“廣東經驗”。

       《2021年廣東省營商環境評價報告》顯示，廣州、深圳為全省標桿，兩市納入首批國家營商環境創新試點城市。作為傳感器產業重點布局的城市，廣州在2020年國家營商環境評價中廣州市位居全國前列，全部18個指標獲評全國標桿；在廣東省營商環境評價中位居第一；近日華南美國商會發布的年度調查報告顯示，廣州連續4年被受訪企業列為最熱門的投資城市。

       創新活力和人才資源 廣東人才和科技綜合實力一直處在全國前列且不斷增強。據科技部組織編寫的《中國科技人才發展報告2020》（下稱“報告”）顯示，2019年，廣東R&D人員達80.3萬人年，居全國首位，超過西部12省份之和，是東北三省總量的4.3倍。

       另外，據2020年《中國城市科技創新發展報告》顯示，廣東省內深圳、廣州、珠海、東莞、佛山、中山、江門、惠州、肇慶、汕頭10地的科技創新發展指數均高于全國0.3325的平均值。其中，深圳市和廣州市均位全國前列。2020年，中國社科院與經濟日報發布《中國城市競爭力第18次報告》中，深圳名列前茅，廣州緊跟其后。廣東省內其他城市在報告中也有不俗的表現。

       隨著對高端人才求賢若渴，廣東各地的人才政策不斷轉向打造“一站式”貼心配套服務的組合拳。廣東在省人才服務局設立廣東省高層次人才服務專區（加掛中央“國家高級人才計劃”廣東省服務窗口），為包括來粵科研工作的海內外高層次人才在內的院士、領軍人才、國家“國家高級人才計劃”專家等符合條件的12類高層次人才提供26項“一站式”政務服務。

       專項扶持政策 2020年9月，黃埔區、廣州開發區出臺《廣州市黃埔區、廣州開發區、廣州高新區促進智能傳感器產業化發展若干措施》（簡稱“智能傳感器20條”）。該措施也是粵港澳大灣區首個區縣級智能傳感器產業專項政策。

       據悉，“智能傳感器20條”在技術、應用、產業、平臺、人才等方面加大對智能傳感器傾斜支持力度。

       其中，研發費最高可獲100萬元補助；技術交易中涉及專利轉讓且包含核心技術發明專利并在本區實現轉化的每年最高可獲1000萬元獎勵；企業打造國家級實驗室、國家工程技術研究中心、國家企業技術中心等最高可獲獎勵300萬元。

       在MEMS制造新動能上，“智能傳感器20條”以MEMS產業為核心，加快智能傳感器設計、制造、封裝、測試等多環節協調合作發展，鼓勵智能傳感器設計、制造、封測和應用環節龍頭及配套企業落地生根。落戶獎勵最高1000萬元；對產值1億元以上且同比增長10%以上的智能傳感器制造型企業給予最高5000萬元獎勵。

       此外，“智能傳感器20條”還鼓勵智能傳感器與工業互聯網融合關鍵技術和設備研發及規模應用，如機械臂、AGV導航車、AOI檢測等智能傳感器設備在工業生產、搬運、檢測、維護等領域應用。對國家、省工信部門認定的智能制造試點示范項目企業最高給予200萬元獎勵，對獲得市級以上產業發展扶持的，最高獎勵500萬元。

       順應地方政策管理，海伯森堅持技術創新和助力實現高端傳感器的國產化替代，在機械臂末端控制應用上，自主研發六維力傳感器HPS-FT系列，實現高端工業生產的柔性裝配和超精密力控打磨。在機器視覺定位識別上，海伯森創新推出寬視野3D面陣固態激光雷達HPS-3D系列，實現AGV導航車搬運和作業的區域安全避障，除此之外，榮獲第二十二屆高交會優秀創新產品獎的超高速工業相機HPS-HC系列，可以應用于產線來料高速運動檢測和讀碼分析。在AOI檢測領域，海伯森獨樹一幟，突破國外“卡脖子”技術，研發出中國首臺3D線光譜共焦傳感器，并在實現量產后迅速開拓HPS-LCF產品系列，另外，光譜共焦位移傳感器HPS-CF系列獲得恰佩克工業零部件模塊的創新產品獎。未來，海伯森將推出更多高性能的智能傳感器產品，為國產傳感器產業發展貢獻力量；通過身體力行，為廣東省智能傳感器中小企業發展提供經驗和借鑒。